１９９２年初版第１刷　「マイクロマシン技術による製品小型化・知能化事典」編集委員会　産業調査会事典出版センター　函によごれ、多少のスレ、キズはありますが、中身状態は並です。

研究シーズ詳細情報（No.292） MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究 - 東北大学 研究シーズ集

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